真空井式坩堝爐詳細參數及原理

更新時間：2021-07-01

本主設備是由熔融石英坩堝（或被氧化鋁粉瓷質坩堝）和不銹鋼裝飾管嗎活套法蘭構造的蒸空環境坩堝爐。其主要用到煅燒蒸空環境或惰性甲烷氣體防護下的高含量類化合物或擴散轉移半導晶片，也可用到烘燒或輥道窯瓷質村料。

負壓井式坩堝爐因素反映

款型	AFD-1200T	AFD-1400T	AFD-1700T
工做溫暖	＞1200℃	＞1400℃	＞1700℃
預熱電氣元件	阻值絲	硅碳棒	硅鉬棒
鉑熱電阻	K型	S型	B型
控溫習慣	31段可代碼編程電腦自動化控制，PID的調節控溫度表
不斷升溫頻率	0-10℃	0-20℃
控水溫	±1℃
大真空泵度	-0.1MPa
爐膛村料	脫色鋁陶瓷廠家黏膠纖維板
爐殼	雙層線路爐殼，風冷架構（爐底安裝兩水冷散熱風扇），爐殼面溫濕度不高于60度
特殊效率	1KW—8KW
較常用爐膛尺寸	Φ240xH220mm；Φ40xH300mm；Φ60xH300mm； Φ80xH300mm；Φ100xH300mm；Φ120xH300mm

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